檢索結果:共5筆資料 檢索策略: "Lithography".ekeyword (精準) and cadvisor.raw="陳建光"
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在本研究中利用微影製程技術製備出奈米結構光阻在矽晶片上,並使用磁控射頻濺鍍分別濺鍍不同厚度之鋯基金屬玻璃薄膜,探討晶片上之光阻與鍍膜去除光阻後鋯基金屬玻璃之奈米結構之光柵現象與親疏水性質。 …
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本研究利用原子轉移自由基聚合法(atom transfer radical polymerization,ATRP),在矽晶片上接枝聚合圖案化聚苯乙烯(polystyrene,PS)高分子刷;首先利…
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本實驗分為兩個部分,第一部份利用原子轉移自由基聚合(Atom Transfer Radical Polymerization, ATRP)於圖案化矽晶圓製備表面起始聚甲基丙烯酸N,N-二甲氨基乙酯(…
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本實驗使用原子轉移自由基聚合法(Atom transfer radical polymerization, ATRP)於圖案化矽晶圓表面進行表面起始聚合(Surface-initiated poly…
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